Microstructuring in semiconductor technology

The dynamic 4 M bit RAM represents the first generation of integrated circuits (ICs) which contains submicrometre structures. This requires high demands on the microstructuring technique. On the one hand, very fine structures have to be fabricated into resist films by lithography and, on the other h... Ausführliche Beschreibung

1. Person: Mader, H.
Quelle: in Thin Solid Films Vol. 175 (1989), p. 1-16
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Format: Online-Artikel
Sprache: English
Veröffentlicht: 1989
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