Simulation of Radio-Frequency Capacitive Discharge at Atmospheric Pressure in Argon

A one-dimensional self-consistent model of capacitive coupled radio-frequency discharge between symmetrical electrodes in argon in the local approximation at atmospheric pressure is considered in this paper. Electrons, atomic and molecular ions, metastable atoms and dimers of argon, as well as atoms... Ausführliche Beschreibung

1. Person: V.Ju. Chebakova verfasserin
Quelle: In Učënye Zapiski Kazanskogo Universiteta: Seriâ Fiziko-Matematičeskie Nauki (01.09.2016)
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Format: Online-Artikel
Sprache: Russian
Veröffentlicht: 2016
Beschreibung: Online-Ressource
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